인천시, 인공지능(AI) 자율제조 선도 프로젝트 사업 선정
인천광역시(시장 유정복)는 28일 산업통상자원부가 공모한 ‘인공지능(AI) 자율제조 선도 프로젝트 사업’에 선정됐다고 밝혔다. ‘인공지능(AI) 자율제조’란 인공지능(AI)을 기반으로 한 로봇과 장비를 제조 공정에 결합해 생산의 고도화 및 자율화를 실현하는 제조 환경을 의미한다. 이번 사업의 과제는 ‘반도체 CMP DISK(화학기계적 연마 디스크)의 인공지능(AI) 자율제조 기반 시스템 개발’로, 2024년부터 2027년까지 4년간 국비 53억 원을 지원받는다. 반도체의 CMP 공정은 ‘반도체 웨이퍼’가 테이블 위에 놓인 ‘패드’ 위에서 용액과 압력을 통해 화학적(Chemical)·기계적(Mechanical)으로 연마(Polishing)되는 과정을 의미하는 것으로, 이 과정에서 CMP DISK가 사용된다. CMP DISK는 머리카락 굵기의 작은 다이아몬드가 약 6만 개 정도 부착된 제품으로 CMP 공정에 사용되는 ‘패드’의 컨디션을 최적의 상태로 가공해 주는 역할을 한다. 현재 국내에서는 CMP DISK의 다이아몬드 크기 분류, 배열, 도금, 불량 검사 등이 주로 수작업으로 진행되었으나, 이번 인공지능(AI) 자율공정 전환을 통해 50% 이상의 생산성 향상과
